大众网·海报新闻记者 徐丹青 丁稳 赵汝鹏 通讯员 李敏 淄博报道

　　2月26日，山东省2021年春季重大项目集中开工活动举行，淄博市分会场设在淄博高新区电科北方数字科技有限公司高性能陶瓷静电吸盘项目现场。淄博高新区工委班子成员、各部门主要负责人参加活动。

　　据了解，淄博市有总投资465亿元的60个项目参加此次集中开工活动，其中淄博高新区项目10个，总投资176.2亿元。这些项目涉及新一代信息技术、现代高效农业、新能源新材料、医养健康、精品旅游等领域。分会场陶瓷静电吸盘项目总投资12亿元，主要建设静电吸盘性能测试及验证平台，年产高性能陶瓷静电吸盘10000个。项目建成投产后，预计可实现年产值20亿元。作为晶圆的吸附抓手，陶瓷静电吸盘是第四代半导体设备中的核心部件，被广泛应用于光刻、PVD、CVD、刻蚀等半导体设备中完成晶圆的抓取和释放，是当前半导体设备最先进的抓手技术。本项目借助中科电集团第十二研究所技术优势，打破了国外技术垄断。